真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝。可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備。它設計構思新穎操作方便，結構緊湊。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹冷卻水異常和遇到停電時的應急措施。 　　高真空燒結爐冷卻水異常 　　當確認加熱電源已停止。爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。高真空燒結爐冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　高真空燒結爐停電 　　停電時如果斷水，應立即接通高真空燒結爐備用的冷卻水，接通水源。如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。

　　真空燒結爐中真空泵的替換步驟有哪些　　真空燒結爐中真空泵的清洗：泵油隨著燒結爐中真空泵的運轉惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時替換燒結爐中泵油。替換燒結爐中泵油的周期：每六個月換油清洗一次。 　　泵油替換步驟如下：　　1、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運行。真空燒結爐中泵內剩下的泵油容易被排除。　　2、先拆下真空燒結爐的排氣管，再打開放油閥，然后倒出泵油。　　3、關閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入。　　4、如果真空燒結爐中泵油的污染非常嚴重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運轉使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復多清洗幾遍。　　5、換上新泵油后，讓真空燒結爐中泵開機運行，等燒結爐的溫度升高以后在確認真空極限壓力。　　6、檢修真空甩帶爐過程需清洗過濾網。