真空燒結(jié)爐是可進行真空燒結(jié)的的工藝，是半導(dǎo)體專用設(shè)備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理工藝。當燒結(jié)爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦? 　　發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時，要先確認加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應(yīng)立即采取一些應(yīng)急措施。如能保證水量，繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀，確認設(shè)備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現(xiàn)異常時，真空燒結(jié)爐處于停止狀態(tài)，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設(shè)備，做好平日的維護，才能延長設(shè)備使用年限。

　　真空燒結(jié)爐是對被加熱物品如硬質(zhì)合金、金屬等難熔物質(zhì)進行保護性燒結(jié)的工業(yè)爐，它有很多加熱方式，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。 　　它利用加熱原理，使鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)，實現(xiàn)燒結(jié)目的。真空燒結(jié)爐適用于科研、軍工單位等行業(yè)對難熔合金及其合金的粉末成型燒結(jié)。 　　爐體，保溫層，加熱器，變壓器，配電柜，包括控溫儀表，這是真空燒結(jié)爐的主要部件構(gòu)成。另外，還有真空泵和機械泵，各種連接管道，閥門等。 　　這種高溫熱處理爐的爐體為夾層，內(nèi)通冷卻水，爐體內(nèi)的保溫層采用石墨碳氈，在篩網(wǎng)上，用碳繩捆扎成碳氈，以保持固定形狀。